Tescan产品探测器扫描透射探测器

扫描透射探测器

扫描透射电镜（STEM）是将透射电镜（TEMs）和扫描电镜（SEM）原理相结合的电子显微镜。它可以部分实现透射电子显微镜（TEM）的应用。STEM 探测器利用透射电子反映的独特信息，扩展了 SEM 和 FIB-SEM 的成像和分析性能。它要求样品厚度小于 100 nm，并可结合元素分析技术，如 EDS 和透射模式 EBSD，以获得更高分辨率的显微分析信息。

在不同角度散射的透射电子反映样品的不同信息，可获得以下信号：

明场像（BF）通常代表薄片样品的布拉格衍射取向和质厚衬度
暗场像（DF）包含部分取向衬度和轻元素的成分衬度
高角度暗场像（HADF）包含最多的是成分衬度散射角取决于材料、薄片的厚度和电子束能量。

散射角取决于材料、薄片的厚度和电子束能量。

应用：STEM 探测器用于研究生物样品中的超微结构、半导体器件的失效分析和材料的表征。

TESCAN 开发了两种类型的 STEM 探测器，都可以用于 SEM 或 FIB-SEM系统，对于 FIB-SEM 系统而言，它有助于制备高质量薄片样品并进行原位分析，增强了仪器的分析能力。

TESCAN STEM 探测器：

HADF R-STEM 探测器（可伸缩式高角暗场 STEM 探测器）

一次可装载观察多个样品
同时获得明场像 ( BF) 、暗场像 (DF ) 和高角暗场像 ( HADF )
STEM 伪彩功能：将 BF、DF 和 HADF 图像伪彩着色，叠加在一张图像里
样品可以上、下移动，以达到最佳成像工作条件
样品可以倾斜
图像拼图功能获取较大区域信息
可交换样品台，易于操作，可快速更换试样
两种样品托可选：多孔样品托和 TEM 薄片制备专用样品托
样品托为 EDS 分析优化了结构

STEM 探测器

STEM 探测器由三个半导体传感器组成，用于明场和暗场成像
可以同时获取明场和暗场图像，也可以将二者信号混合
紧凑设计—可从样品台上拆卸适配器。
标准 TEM 栅网置于探测器样品托中

HADF R-STEM 检测器通过添加只有透射电子可提供的独特信息，增强了对薄切片样品进行的 SEM 分析（SE, BSE, EDS, EBSD）

$Bright-field image with diffraction contrast on dislocations in ferritic steel$

High resolution analysis of thin foils using the STEM Detector with HADF

Performing scanning transmission electron microscopy (STEM) in a scanning electron microscope (SEM) is a popular technique for laboratories without transmission electron microscopy (TEM) capabilities. The new option for TESCAN STEM detector extends the imaging capabilities by simultaneous acquisition of multiple signals from transmitted and diffracted electrons including bright field, dark field and high angle dark field. The STEM analysis can be further supplemented with transmission EDX or EBSD microanalysis for receiving higher resolution, utilizing the available analytical techniques of the SEM.

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