首页 > 产品 > 聚焦离子束(Xe)扫描电镜 FERA

世界第一个完全集成式Xe等离子源聚焦离子束扫描电子显微镜----FERA3,提供了超高离子束束流(最高束流为2µA),其溅射速度比Ga离子源高50多倍。对于目前浪费时间或不可能进行的需要刻蚀的材料,FERA3型仪器是一个不错的选择。


新一代的聚焦离子束扫描电子显微镜为用户提供了最新的技术优势,例如:改进的高性能电子设备使图像采集得速度更快,带有静态和动态图像扭曲补偿技术的超高速扫描系统,内置的编程软件等。


FERA3的设计适应各种各样的SEM应用与当今研究和产业的需求,其高分辨率、高电流和强大的软件使TESCAN FIB-SEM成为优秀的分析工具。

现代电子光路

  • 独特的三透镜大视野观察(Wide Field Optics™)设计提供了许多工作与显示模式,体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计
  • 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™),可模拟和优化电子束
  • 全自动的电子光路设置与合轴
  • 成像速度快
  • 使用3维电子束技术可获取实时立体图像
  • 三维导航

高性能离子光路

  • 高性能的等离子i-FIB设备使切片和材料的刻蚀既快又精确

维修简单

现在保持电镜处在优秀的状态很简单,只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率最大化,操作最简化。

自动操作

电镜除了可以自动化设置外,还可进行聚焦、调节对比度/亮度等自动操作。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言(Python)可进入软件的大多数功能,包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析等。通过脚本语言用户还可以自定义自动操作程序。

用户界面友好的软件与软件工具

  • 用户界面友好的操作系统基于Windows™平台,多用户和多语言操作界面
  • 同时的FIB/SEM成像,易于操作
  • 实时图像支持多窗口模式,可自定义实时图像参数
  • 图像处理,报告生成,在线与离线图像处理
  • 项目管理软件
  • 内置的自动诊断(自检)
  • TCP/IP远程控制,网络操作与远程进入/诊断
  • 免费升级软件

FERA3 GM

FERA3 GM是一款由计算机完全控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统 (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简单的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

FERA3 XM

FERA3 XM是一款由计算机全控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统 (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。