VEGA3 GM是一款由计算机控制，可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝(选配LaB6)扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
分析潜力
GM型号适合观测大样品。
VEGA3 GMH
超大样品室，高真空模式，适用于观测大型导电材料。
VEGA3 GMU
可变真空式扫描电镜，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。
- GM样品室配备有5轴马达驱动样品台
- 多于20个接口，优化的几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）
- 一流YAG闪烁器式探头
- 可选各种探头和配件
- 涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态
- 在可变真空模式下可观测不导电的样品（XMU型号）
- 可选样品室减振方式
- 3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能
GM型号适合观测大样品。
VEGA3 GMH
超大样品室，高真空模式，适用于观测大型导电材料。
VEGA3 GMU
可变真空式扫描电镜，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。
