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这款产品集成了TESCAN公司的聚焦离子束扫描电镜和Tofwerk公司提供的飞行时间二次离子质谱仪的所有特征。


这款产品集成了TESCAN公司的聚焦
离子
束扫描电镜和Tofwerk公司提供
的飞行时
间二次离子质谱仪的所有
特征。


发射源,正交提取,中等质量分辨率
二次离子飞行时间质谱仪(TOF-SIMS) 安
装在双束聚焦(离子/电子)扫描电镜上,
可以高效益、低成本的完
成二次离子元素
扫描。在深度上,可以得到几纳米的分辨
率是小菜一碟。所以,我们就可以获得三
个维度上纳米级别的化学扫描结果。
示例:晶界

Magnesium alloy with hard-phase skeleton
(Al, Ca rich, view field 50x50 µm2)
Courtesy of EMPA, Thun, Switzerland
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TOP-SIMS作为一个附件安装在使用镓离
子源的FIB电镜上,因而不需要再安装其它
的离子源。在这台设备上,横向的空间分
辨率可以达到50nm,而纵向的空间分辨
率可以达到15nm。用户可以清晰的感受
到TOP-SIMS和FIB-SEM结合后的所有优势
成像、蚀刻、沉积、光刻、微操作),并
能在完成纳米级别制备后同一位置进行
SIMS分析。


TOF-SIMS与FIB-SEM集成的优势:


  • 三维化学测绘
  • 灵敏度高
  • 可区分同位素
  • 无需额外的离子源
  • 连续的离子束


示例:纵向图


Multilayer sample of Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL)
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另外,与EDX相比较,TOP和FIB-SEM的结合提供了更多的优势,诸如:更好的横向分辨率,适合光子元素。
示例:钠对太阳能电池的污染



Fig. Left: chemical mapping
Fig. Above: 3D reconstruction