首页 > 产品 > 钨灯丝扫描电镜 VEGA

VEGA3 LM是一款由计算机控制,可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

分析潜力:

  • LM大样品室、5轴马达驱动样品台
  • 样品室有11个接口,适用于安装EDX、EBSD、EBIC等探头
  • 一流YAG 闪烁体探头
  • 选配包括了各种探头于可选的配件
  • 涡轮分子泵和机械泵同时工作,几分钟可达到仪器操作需要的真空状态
  • 在可变真空模式下可观测不导电的样品(LMU型号)
  • 可选的样品室减振方式
  • 3维Metrology软件提供了三围重构与3维测量功能

VEGA3配置

VEGA3 LMH
高真空式SEM,配备有5轴马达驱动样品台,适用于观测小型导电样品。

VEGA3 LMU
可变真空式SEM,体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测非导电样品,不需要喷金。


标配:

  • 测量
  • 图象处理
  • 3维扫描
  • 硬度测量
  • 多图像校准
  • 对象区域
  • 自动关机时间
  • 公差
  • 编程软件
  • 定位
  • 投影面积
  • EasySEMTM

选配:

根据实际配置和需求
Electron Gun:

钨灯丝/LaB6

Resolution:
高真空(SE): 3 nm @ 30 kV / 2 nm @ 30 kV
8 nm @ 3 kV / 5 nm @ 3 kV
低真空模式(LVSTD,BSE): 3.5 nm @ 30 kV / 2.5 nm @ 30 kV
Magnification:

2~1,000,000x

Maximum Field of View:


Accelerating Voltage:

从200 V 至 30 kV

Probe Current:




标配:

  • 二次电子探头(SE),ET型二次电子探头(YAG 闪烁体)
  • 可移动式背散射电子探头(RBSE)*,可移动环行闪烁体类(YAG)具有高灵敏度和原子序数分辨率(0.1Z)
  • 探针电流测量
  • 压差式防碰撞报警装置
  • 可观察样品室内部的红外线摄像头
  • 冷台
  • 等,各种附件可供选择


vega3 lm

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vega3 lm

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