DrawBeam 是用于 SEM 和 FIB-SEM 光刻应用中功能强大且操作简单的软件。该软件模块可完全控制电子和离子束以及样品台和气体注入系统(GIS)。DrawBeam 可实现电子束光刻(EBL)、FIB 图案化、横截面和薄片制备、电路编辑及去层等应用。